1、配有水塔的废气治理系统，应少一个星期换一次水，换水时应先将塔内存水通过排水口排放干净，加入1/3正常水量的循环水后，开启循环水泵运行钟后，再次排放干净，重新加水至正常水位。(根据所治理的废气不同，有的水塔需要加片碱的，应适当加入片碱)
2、每个月应将等离子设备电极组件抽出来清洗一次，视污垢附着程度，如果不太脏时可用高压水枪加家用洗洁精喷洗或者用热水加入家用洗洁精泡洗。如果积垢比较严重，则可用重度1:25的烧碱与热水混合溶液泡洗较快较。
清洗结束后应将电极架晾干进行中心校正后可装机使用。校正方法：将电极架如正常使用时放置，从电极架进气方向目测，每个电极单元的中心发射管是否在接受管(外筒)中心，若目测偏移，可用直径10mm钢棒插入发射极进行调整，调整时切记不可用力过大过猛，应逐渐加大调整力度。
3、每三个月至半年(长年限是半年)视情况将等离子设备所有电极抽出清洗一次，清洗方法参照第2条。
4、设备不运行时，应将系统进气口蝶阀关闭，需要运行设备时再将之打开。系统配置有可燃性气体检测探头的，在设备整体运行时间累计达到500h时，应将系统处的可燃性气体检测探头下拆下，拧下探头底部保护帽，将保护帽内的滤芯用干燥压缩空气反向吹拭干净后，将之与探头组装好再安装回原来位置。
