低温等离子废气处理设备是利用电子、各种离子、原子和自由基等活性等离子体和废气中的污染物作用，净化、无需添加任何物质、适应性强、低耗节能的特点，使废气物质分子在短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到分解废气的目的。低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质的第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。
低温等离子废气处理设备，利用所产生的能力好电子、自由基等活性粒子开启、电离、裂解工业废气中的各组成份，使之发生分解，氧化等一些列复杂的化学反应，再经过多级净化，从而取消各种污染源排放的异味、臭味污染物，使性能稳定气体达到低毒化、毒素检测化，保护人类生存环境。由于其对污染物分子的效果分解且处理能耗低等特点，为工业废气的处理开辟了一条新的思路。
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些能力好电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。（注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。）
低温等离子废气处理技术过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(1)电场＋电子→能力好电子
(2)能力好电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团
(3)活性基团＋分子(原子)→生成物+热
(4)活性基团＋活性基团→生成物+热
从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，能力好电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
